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真空泵的工作原理

       近年来,随着真空技术应用领域的不断扩大,各种真空获得设备增长亦非常迅速。为满足真空应用发展的需要,特别是老产品不断更新,新产品不断出现,真空获得设备的发展正在进入一个新的时代。
       罗茨真空泵特点是:降低泵的振动和噪声,提高长期运行的可靠性,处理大量可凝性和挥发性气体,降低能耗和运行成本,消除废液处理和对环境的污染;要求耐腐蚀,耐粉尘以及获得清洁、无油的真空环境等。在清洁或腐蚀性工艺中的应用,在半导体、平板显示、薄膜太阳能电池以及其他工况条件非常苛刻的化工、制药等行业,大都采用罗茨真空泵与干式真空泵组成的真空机组。
       一方面可以减少干泵尺寸,提高机组在中真空范围的抽速,另外极限真空也能提高一个数量级。根据罗茨泵的抽气机理,从原则上来说应该是无油的,但是罗茨泵的转子必须由轴承来支撑和精密的同步齿轮来传动,这些轴承和齿轮均需要润滑系统。
       螺杆真空泵的工作原理如图1所示,它是由一对同步齿轮带动一对逆向旋转的螺杆保持一定间隙而实现非接触的啮合,为了减少泄漏,要求螺杆的加工精度很高。这种泵可以处理含一定量的液体和含有微小颗粒的工艺气体,因而非常适用于半导体、太阳能薄膜、化工、制药等应用领域。