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螺杆真空泵地应用

       螺杆真空泵具有无油污染、排除水蒸气和固体粉尘颗粒能力强等特点;与水环泵等液封泵相比,螺杆真空泵具有真空度高、能耗低、抽除可溶性蒸汽时无废液产生的特点;与爪式泵、多级罗茨泵、涡旋泵等其它干式真空泵相比,螺杆泵具有抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长等特点。
       目前,螺杆泵已被成功地应用于半导体、医药、食品、化工等众多工业领域,所占真空泵市场份额逐年上升。螺杆转子是螺杆真空泵中最关键的抽气部件,直接决定着泵的工作性能和使用寿命,其加工制造成本约占整个螺杆泵总成本近一半。螺杆转子的设计与制造则是整个螺杆泵生产中的关键技术之一,也是国内各企业开发、研制螺杆真空泵过程中所普遍面临的技术难题。
       由于螺杆真空泵螺杆转子的设计理论尚不够成熟,且有技术保密因素,致使关于螺杆真空泵转子设计的公开资料十分稀少。国内不同单位中从事螺杆真空泵开发研制的研究学者和技术人员,大多是从最基础原理出发,开展研究工作,发现和解决开发工作中所遇到的一个个技术难题,制约了国内螺杆真空泵开发生产的速度与水平的提高。螺杆真空泵的工作原理脱胎于在其出现前已经技术成熟的螺杆气体压缩机和螺杆液体输送泵。螺杆真空泵中螺杆转子的工作原理与结构设计理念也是由这两种产品衍化而来。
       尽管螺杆真空泵输送的介质与螺杆气体压缩机相同,但其转子结构形式却更接近于螺杆液体输送泵中的螺杆转子。至今为止,多数螺杆真空泵的定型产品,其转子均采用单头自啮合型线结构。无油螺杆真空泵的应用市场已经成熟并正在迅速成长,而我国螺杆泵的设计、制造水平尚处于低水平的引进消化探索阶段,还远远不能适应我国当前市场的实际需求。其中螺杆转子的设计理论和制造技术的落后,正是制约螺杆泵技术与产品进步的关键因素之一。