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真空泵的性能指标

       内压缩干式螺杆真空泵由于体积小、能耗低、噪声低成为当前一个研究热点。干式螺杆真空泵成对螺杆之间、螺杆与泵体之间有一定的间隙,这些间隙的存在,在压力差的作用下,产生气体返流,不同的螺杆齿形会形成不同的通道类型,产生的气体返流各不相同,气体的返流严重影响着的抽气效率、抽气速率和极限压力等真空泵的性能指标。
       通常情况下,螺杆真空泵入口工作压力变化范围广,压差大,随着入口压力逐渐变小,螺杆真空泵内部气流从粘性流到分子流变化,同时,螺杆真空泵从入口到出口,三种流态几乎都存在。如何建立单一模型包含三种流态,用于计算螺杆真空泵抽速曲线和功率曲线等工作特性,用于样机的优化设计具有重要的意义。目前,已有很多学者对螺杆真空泵的工作特性进行了研究只在一个特定的流态有良好的精度,传统的计算方法一般对单一模型有效,比如积分法对粘滞流计算有效,而蒙特卡洛法计算分子流非常有用的。
       螺杆真空泵螺杆采用螺旋式设计,导致其在运转过程中,通道也跟随着规律性、周期性的变化,引起气流返流也规律性、周期性的变化,气体分布于若干个封闭的工作型腔中,在同一封闭工作型腔中,有若干个通道,随着螺杆真空泵的旋转,逐渐输送到排气口,内压缩螺杆真空泵泵,中间有压缩级,工作过程更复杂。
       由于螺杆真空泵型腔内部都有三种流态:粘滞、克努森和分子流,同时在不同地点被发现,因此,有必要研究包含三种流态,建立设计和操作参数与工作性能标间的分析计算模型,定量化精确分析计算内压缩螺杆真空泵的工作特性,为快速开发内压缩螺杆真空泵提供设计方法和技术支撑。